Home Taiji Calibration test method of capacitance sensor for multiple degrees of freedom based on inertial sensor. Liu D X, Wang S X, Jia J J, et al. SCIENTIA SINICA-PHYSICA MECHANICA & ASTRONOMICA,2024, 54(7):270407
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Calibration test method of capacitance sensor for multiple degrees of freedom based on inertial sensor. Liu D X, Wang S X, Jia J J, et al. SCIENTIA SINICA-PHYSICA MECHANICA & ASTRONOMICA,2024, 54(7):270407

by admin - Mar 23, 2026

电容传感器是实现空间任务中高精度位移探测的关键部件, 受到敏感结构加工误差以及电子学器件精度的影响, 系统电路的实际增益往往与理论之间存在一定差异. 本文以差分放大电路为核心, 对电容传感电路各环节的理论模型进行分析, 并在此基础上构建了其增益及零偏模型. 同时结合敏感结构工程样机开展了相关的标定实验, 实现了多自由度上位移到电压的精确高效标定. 此外, 还提出了一种与之相对应的调制标定方法, 能够有效地降低低频扰动造成的干扰, 并通过实验验证了该标定方案的可行性以及零偏模型的准确性. 结果显示, 在未进行温控调节的情况下, 各通路在多次测试下所得的标定增益系数的RMSPER值均小于0.2‰.